三星电子美国泰勒晶圆厂3月测试EUV光刻机

三星电子将从今年3月起在其美国泰勒一号工厂测试EUV光刻机，随后陆续引进刻蚀、沉积等设备，计划今年下半年投产。（科创板日报）